基于Windows Mobile的半导体CVD监控系统的设计与实现
刘颖;厉鲁卫;夏诗怡;
摘要(Abstract)：
CVD(化学气相沉积)镀膜是半导体生产的关键步骤,沉积过程中对工艺参数、调度信息的管理非常重要。本文根据CVD生产的需求,以Visual C++2005为开发平台,在Windows Mobile平台实现了晶圆化学气相沉积工艺参数的无线实时监控管理,其无线监控特性使操作者避免了现场的有毒气体吸入。
关键词(KeyWords)： 化学气相沉积;Windows Mobile;晶圆镀膜工艺参数
基金项目(Foundation): 浙江农林大学人才启动项目“半导体CVD远程监控系统的研发”,项目批准号:2010FR007;; 浙江省重大科技专项国际合作项目“基于工业PC和PLC的真空设备监控管理系统的研发,项目批准号:2008C14085
作者(Author): 刘颖;厉鲁卫;夏诗怡;
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