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2014, No.468(11) 70-72

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基于闭环加速度检测系统的MEMS加速度传感器模型

黄廷昭;童成盛;万培元;林平分;

摘要(Abstract):

本文针对体硅梳齿结构的电容式加速度传感器进行建模,考虑到了极板间静电力影响,对闭环反馈式加速度检测系统的设计及调节提供了可能及便利;基于VerilogA对该模型进行描述,使其能够和主流的IC电路设计工具进行兼容,对于系统功能搭建及性能的调节具有直接性,便利性。根据仿真结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,尤其对闭环加速度计检测系统的设计提供有效的帮助。

关键词(KeyWords): MEMS加速度计;VerilogA;静电力;闭环反馈

Abstract:

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 黄廷昭;童成盛;万培元;林平分;

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