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2009, (22) 282-283

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磁控溅射技术在刀具涂层中的应用

闫继超;

摘要(Abstract):

<正>磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术,被普遍和成功地应用于许多方面,如材料表面处理、微电子、光学薄膜等,目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。1.常用的镀膜技术

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作者(Author): 闫继超;

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