科技信息

2013, No.441(13) 196-197

[打印本页] [关闭]
本期目录(Current Issue) | 过刊浏览(Past Issue) | 高级检索(Advanced Search)

二氧化硅的氢氟酸缓冲腐蚀研究
Research on Buffering Hydrofluoric Fluoride Corrosion of Silicon Dioxide

赵孟钢;

摘要(Abstract):

本文讨论了二氧化硅在氢氟酸缓冲(BHF)腐蚀溶液中的腐蚀特性。研究了二氧化硅在腐蚀液中的腐蚀速率、表面粗糙度及腐蚀深度随着NH4F配比、HF配比及腐蚀液温度的变化规律。通过改变腐蚀液配比和腐蚀温度等条件,从腐蚀速率及表面形貌等方面进行了比较和分析,确定不同条件下二氧化硅的腐蚀速率,以及腐蚀条件对二氧化硅表面粗糙度及表面深度的影响。

关键词(KeyWords): 二氧化硅;腐蚀速率;腐蚀深度;表面形貌;粗糙度

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 赵孟钢;

Email:

DOI:

参考文献(References):

扩展功能
本文信息
服务与反馈
本文关键词相关文章
本文作者相关文章
中国知网
分享