二氧化硅的氢氟酸缓冲腐蚀研究Research on Buffering Hydrofluoric Fluoride Corrosion of Silicon Dioxide
赵孟钢;
摘要(Abstract)：
本文讨论了二氧化硅在氢氟酸缓冲(BHF)腐蚀溶液中的腐蚀特性。研究了二氧化硅在腐蚀液中的腐蚀速率、表面粗糙度及腐蚀深度随着NH4F配比、HF配比及腐蚀液温度的变化规律。通过改变腐蚀液配比和腐蚀温度等条件,从腐蚀速率及表面形貌等方面进行了比较和分析,确定不同条件下二氧化硅的腐蚀速率,以及腐蚀条件对二氧化硅表面粗糙度及表面深度的影响。
关键词(KeyWords)： 二氧化硅;腐蚀速率;腐蚀深度;表面形貌;粗糙度
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作者(Author): 赵孟钢;
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