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2009, (15) 81-82

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原子光刻技术
Atom Lithograpy

刘敏;

摘要(Abstract):

针对原子光刻技术在纳米计量及传递作用中的特殊地位,介绍了该技术的基本原理、方案、刻及Cr原子光刻实验.通过与其他微刻印方法的比较,展望了其应用于微电子学等领域的前景。

关键词(KeyWords): 纳米计量;纳米传递;原子光刻;沉积条纹

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 刘敏;

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