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2011, No.381(25) 46+49

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铸造多晶硅生长过程中氧的传递过程研究

王海荣;

摘要(Abstract):

定向凝固法生长铸造多晶硅系统中,氧的平衡涉及到三个界面,它们是坩埚与熔体界面、熔体与气相界面以及晶体与熔体界面。因此氧的传递包含可能的三个过程:(1)氧从坩埚中向硅熔体中进行扩散;(2)氧的分凝导致氧从熔体中进入凝固的晶体中;(3)氧在熔体表面以SiO的形式挥发。

关键词(KeyWords): 多晶硅;传递速率;接触面积;氧沉淀;对流;扩散;保护层;纯度;利用率

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 王海荣;

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