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2010, No.355(35) 123

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浅论MEMS技术发展趋势与应用

张勇;张剑;熊国宏;

摘要(Abstract):

MEMS技术是一门新兴的技术,是多种学科交叉融合的前沿高技术,近年来越来越受到世界各国的重视。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、及主要应用。

关键词(KeyWords): 微电子机械系统;传感器;尺度效应

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 张勇;张剑;熊国宏;

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